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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】XPS和EDX有什么区别
汕头大学海洋科学接受调剂
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xuqiuju

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】XPS和EDX有什么区别

在表面元素测定方面，XPS和ESX有什么区别？
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1楼 2009-06-25 10:52:46
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lw8115

金虫 (小有名气)
★
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XPS是更准确的，EDS是SEM 的附件，属于微区元素分析，但EDS可以做面分布，根据需要选择吧
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15楼2009-07-15 10:36:58
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小马01

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你去GOOGLE一下，不久完事啦！
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LuckFavorsThosePrepared
2楼2009-06-25 10:54:19
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whzg

木虫 (知名作家)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+2,VIP+0):谢谢交流 6-25 14:17
XPS是测量样品表层信息，而且可以拟合得到化合物元素组分比。而EDX是SEM带的波谱仪附件，也是测量样品元素组分的，是每个区域的平均值。感觉XPS比后者获得信息更多一下，而且XPS可以进行薄膜样品深度分析，后者好像不行吧。更多的信息可以看看相关书籍和文献

[ Last edited by whzg on 2009-6-25 at 13:28 ]
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3楼2009-06-25 13:26:37
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shoppingyan

铁虫 (小有名气)
★ ★
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洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流 6-25 20:41
XPS会比EDX全面一些。EDX只能测出表面元素的相对含量，而XPS还可以得到同个元素不同价态的比例。
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4楼2009-06-25 16:58:42
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