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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 【专题活动】微纳版经典名词解释有奖征集
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zeusshang

金虫 (小有名气)
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【经典名词】原子层沉积 （Atomic layer deposition）
【解释】原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。
    原子层沉积通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应并形成沉积膜。当前躯体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层沉积的关键。气相物质在基体材料的表面吸附特征可以看出，任何气相物质在材料表面都可以进行物理吸附，但是要实现在材料表面的化学吸附必须具有一定的活化能，因此能否实现原子层沉积，选择合适的反应前驱体物质是很重要的。
   原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型（厚度，成份和结构），优异的沉积均匀性和一致性使得其在微纳电子和纳米材料等领域具有广泛的应用潜力。根据该技术的反应原理特征，各类不同的材料都可以沉积出来。已经沉积的材料包括金属、氧化物、碳（氮、硫、硅）化物、各类半导体材料和超导材料等。
　　
【提供者】zeusshang
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微纳加工
121楼2009-08-20 18:08:18
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zeusshang

金虫 (小有名气)
【经典名词】分子束外延（molecular beam epitaxy(MBE)）
【解释】分子束外延是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下，由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射到适当温度的单晶基片上，同时控制分子束对衬底扫描，就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜，通常是单晶薄膜。该技术的优点是：使用的衬底温度低，膜层生长速率慢，束流强度易于精确控制，膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜，以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子阱微结构材料。
    分子束外延技术，最适合应用在那些要求对外延薄膜的厚度，成分以掺杂程度进行准确的控制情况下。碰撞雪崩渡越时间二极管和变容二极管就是很好的例子。它们说明分子束外延有能力产生既陡峭而精确的特定掺杂分布。低损耗光学波导管构件和双导质结二极管激光器器件要求厚度小于微米数量级，并要求在相当大的横向尺寸范围内得到完美的分界面。这些器件已利用分子束外延技术生长的薄膜制造出来。分子束外延技术另一个应用范围是基础研究，既可以用来制造各种成分要求的平坦表面，也可以用来生长陡峭的分界面和非常薄的薄层。
【提供者】zeusshang
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微纳加工
122楼2009-08-20 18:12:52
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zeusshang

金虫 (小有名气)
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【经典名词】电子束光刻（E-Beam Lithography, EBL）

【解释】采用聚焦电子束来对抗蚀剂进行直写，使特定区域的抗蚀剂发生化学反应，从而得到纳米级图形的一种光刻技术。
    电子束光刻是微电子技术领域重要的光刻技术之一,它可以制备特征尺寸10nm甚至更小的图形.随着电子束曝光机越来越多地进入科研领域,它在微纳加工、纳米结构的特性研究和纳米器件的制备等方面都呈现出重要的应用价值.
主要应用领域：
微电子：单电子晶体管、T型栅
微光学：亚波长光栅、衍射光学元件、光子晶体
微流体：纳米纹路
生物医学：细胞生长支架、纳米孔洞
其主要优点是可以得到尺寸非常小的图形，缺点主要是效率太低，因此目前主要用来进行科学研究而不是大规模生产。

【提供者】zeusshang
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微纳加工
123楼2009-08-20 18:25:55
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zhouxiaoyu

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫

超微粒子

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是指粒子尺寸介于普通微粉鱼圆子团簇之间的一种中间物质态，是存在于宏观与微观之间的“介观体系”，是人类认识世界的新层次。超微粒子的尺寸下限与原子团簇相交汇，通常认为是1nm量级;其尺寸上限与微粉相衔接，具体尺寸与学科领域有关。一般认为，超微粒子是粒子尺寸大致处于1~100（1000nm）范围的粒子。尺寸小于0.1微米的超微粒子比表面积大，表面原子比例高，具有独特的表面效应、体积效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应等特殊性质。超微粒子可分为金属、半导体、陶瓷、高分子超微粒子。
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124楼2009-08-30 17:54:09
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apollo5206

木虫 (小有名气)
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【经典名词】荧光共振能量转移(FRET)

【解释】　荧光共振能量转移是指在两个不同的荧光基团中，如果一个荧光基团（供体 Donor）的发射光谱与另一个基团（受体 Acceptor）的吸收光谱有一定的重叠，当这两个荧光基团间的距离合适时（一般小于100A0），就可观察到荧光能量由供体向受体转移的现象，即以前一种基团的激发波长激发时，可观察到后一个基团发射的荧光。简单地说，就是在供体基团的激发状态下由一对偶极子介导的能量从供体向受体转移的过程，此过程没有光子的参与，所以是非辐射的。给予体分子被激发后，当接受体分子与给予体分子相距一定距离，且给予体和接受体的基态及第一电子激发态两者的振动能级间的能量差相互适应时，处于激发态的给予体将把一部分或全部能量转移给接受体，使接受体被激发，在整个能量转移过程中，不涉及光子的发射和重新吸收。如果接受体荧光量子产率为零，则发生能量转移荧光熄灭；如果接受体也是一种荧光发射体，则呈现出接受体的荧光，并造成次级荧光光谱的红移。

【提供者】apollo5206
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125楼2009-09-02 09:16:13
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