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研磨单晶硅片时，<111>晶向和<100>晶向有差别吗？已有2人参与
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制造单晶硅片时，研磨片过程中，<111>晶向和<100>晶向有差别吗？ <111>晶向原子面密度大，是不是需要增大研磨时的压力？ |
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BAIMAFEIMA
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4楼2019-10-20 08:16:08