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南方科技大学公共卫生及应急管理学院2025级博士研究生招生报考通知
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】如何去除硅表面的氧化层?

想在硅片上做一层氧化物,需要去除表面的氧化层,只知道用HF酸,但具体的腐蚀时间和浓度不太清楚。
请高手赐教。
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ange8962559

金虫 (著名写手)


小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-23 21:02
浓硫酸:30%的过氧化氢按3:1中煮沸
去离子水清洗
5%的HF酸浸泡
去离子水清洗
成人不自在自在不成人
4楼2009-05-09 19:33:56
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zjuer

至尊木虫 (著名写手)

★ ★ ★
zhangletao1986(金币+3,VIP+0):太感谢了,兄弟能把具体的过程和我说一下吗?事前的氨水盐酸是如何进行处理的? 5-9 10:16
以前我们好像是HF:H2O体积比1:5~1:8,15~30Sec左右,能得到很好的硅氢表面。当然事前做过氨水、盐酸的处理
2楼2009-05-08 22:17:05
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zjuer

至尊木虫 (著名写手)

★ ★ ★
ddx-k(金币+3,VIP+0):感谢应助。 5-9 15:03
用1#液在80度加热15min
用2#液在80度加热15min
用去离子水冲洗,在HF溶液中浸泡30Sec,取出吹干。

1#  氨水:H2O2:去离子水   1:1:5~7
2#  HCL:H2O2:去离子水   1:1:5~7
HF溶液  HF:去离子水  1:8

[ Last edited by zjuer on 2009-5-9 at 14:40 ]
3楼2009-05-09 14:10:50
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陈勇跃

金虫 (正式写手)

如果只想除去硅一面的氧化物呢??
5楼2009-06-06 13:38:06
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lasercust

金虫 (小有名气)


小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-23 21:02
利用激光辐照即可去除
6楼2009-06-07 10:32:38
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huyuchan

★ ★
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小木虫:)(金币+1,VIP+0):3x 10-23 21:03
用离子枪进行剥离就完全可以去掉的
7楼2009-06-10 20:09:14
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COOLT

木虫 (著名写手)

★ ★ ★
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zhangletao1986(金币+2,VIP+0):那请问如何检验氧化层的去除状态呢? 8-18 13:22
氢氟酸吧,和水按体积比1:4混合,一般腐蚀20s就够了!
comeon!
8楼2009-06-11 07:59:13
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zdliang83

木虫 (小有名气)

★ ★ ★
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zhangletao1986(金币+2,VIP+0): 8-18 13:21
工厂里都是用氢氟酸来腐蚀的
一般是按照HF:水:酒精=1:10:1的比例
将硅片吸附起来
然后将配制的液体用喷枪在上面扫过去就可以了
你可以用注射器在硅片上冲一会
再用清水冲洗
9楼2009-06-11 08:19:00
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zhangletao1986(金币+2,VIP+0):那麻烦问一下,用什么方法检测表面氧化层去除最简单经济? 8-18 13:21
我们用的是15%的HF,浸泡10min,然后放入去离子水中,5min即可。
不过,还是根据自己配置的溶液自己亲自试验一下较好!
论文投稿区欢迎您!
10楼2009-08-17 09:41:47
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