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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SiC基片及刻蚀
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小麦麦123

铁虫 (初入文坛)

[交流] SiC基片及刻蚀

最近想购买一些SiC基片，虫友们有推荐的吗？还有，对于SiC刻蚀方面有没有了解的？
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1楼 2018-11-26 10:14:06
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shiiuen

金虫 (初入文坛)
试试氟基气体

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18楼2019-02-11 21:00:57
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小麦麦123(金币+1): 谢谢参与
多多合作

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10楼2018-11-26 22:51:12
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小麦麦123(金币+1): 谢谢参与
想了解

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12楼2018-11-27 07:11:52
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czcdxmc

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
SiC刻蚀，很多气体可选，Cl2，CF4，SF6，NF3。

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13楼2018-11-28 23:19:39
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yanbodr11楼
2018-11-27 00:58   回复  
小麦麦123(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
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