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【求助】三氯氢硅尾气吸收的方案
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请提供三氯氢硅尾气处理方案及设备 一、要求:1、回收HCl制盐酸或气体。 2、回收硅烷。 3、其它气体放空。 4、提供工艺、设备,负责安装、调试。 二、指标要求: 1、放空尾气达到或接近排放标准。 2、设备、工艺投资小、运行可靠,运行成本较低。 三、尾气成份及流量 1、H2≈69% HCl≈23% SiHCl3≈4% N2≈4% (体积百分比)。 2、300立方米/小时(常压)。 四、参考处理意见 1、溶剂吸收硅烷、水吸收HCL。 2、活性碳吸收硅烷、HCL排放H2,再分步解吸冷冻、回收HCL气体。 3、变压吸附排放H2,再分步解吸冷冻、回收HCL气体。 [ Last edited by zhjf on 2009-7-22 at 10:34 ] |
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maxuehui111(金币+1):谢谢参与
hunterli79(金币+1,VIP+0):鼓励交流,常来化工版~~ 7-18 11:01
maxuehui111(金币+1):谢谢参与
hunterli79(金币+1,VIP+0):鼓励交流,常来化工版~~ 7-18 11:01
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三氯氢硅 尾气中需要回收的就HCL和H2。氯硅烷很少,涉及到吸收、精馏成本太高,HCL可以用四氯硅烷吸收,HCL低温在四氯硅烷中溶解度大,吸收了HCL,H2就可以用活性炭吸收,能很好回收,如果排放,能省很多事,但必须在出口安装阻火器。对于氯硅烷,作为废气,可以用凡士林吸收,再用两级塔淋洗。如果非要回收,可以用冷却器冷却,回收,但是一个冷却器的价格在百万之上。还不包括接下来的精馏的设备,和其他附属设备!具体的参数,自己去计算。 任何东西都不可能不劳而获! [ Last edited by zw1902 on 2009-5-3 at 19:30 ] |
5楼2009-05-03 19:24:43













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