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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » SF6或CF4用等离子体去和石墨烯反应，是属于化学反应吗？
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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] SF6或CF4用等离子体去和石墨烯反应，是属于化学反应吗？ 已有3人参与

想用SF6或者CF4用ICP轰击石墨烯薄膜表面，这个是会发生化学反应吗？求解！文献不太多

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1楼 2018-11-11 11:24:44
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pizhou

新虫 (初入文坛)
★
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SF6或者CF4电离轰击是物理过程，轰击薄膜表面进行化学反应形成气体被泵抽走。
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3楼2018-11-11 12:11:38
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kakarote

金虫 (文坛精英)
★
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肯定有化学反应。但也有物理轰击。

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2楼2018-11-11 11:52:25
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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by pizhou at 2018-11-11 12:11:38
SF6或者CF4电离轰击是物理过程，轰击薄膜表面进行化学反应形成气体被泵抽走。

那它和我用Ar轰击是一个道理了？我看文献里讲说是会氟化，我想着这是不是化学反应？还有想请教您一下，CH4等离子体和石墨烯也会是化学反应吗？

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4楼2018-11-11 19:39:25
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欧拉也不会

新虫 (小有名气)
★
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老哥，sf6等离子体处理哪里可以做，挺需要的，谢谢

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5楼2020-05-15 18:11:38
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