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shuxiao0811

金虫 (小有名气)

[求助] 制作引脚是几个微米大小的金电极采用Sputter还是E-beam? 已有1人参与

要给CVD生长的MoS2镀膜制作电极,做电学性能测试,电极引脚的粗细是几个微米,长度是30um,电极材料是金!采用Sputter效果好还是E-beam效果好?另外靶材可以选择银吗?需不需要先镀一层铬或者钛增加黏着性?
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咖喱不甜

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以考虑镀一层过度层,这样薄膜好沉积上去
2楼2018-11-09 13:35:46
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