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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 制作引脚是几个微米大小的金电极采用Sputter还是E-beam？
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shuxiao0811

金虫 (小有名气)

[求助] 制作引脚是几个微米大小的金电极采用Sputter还是E-beam？ 已有1人参与

要给CVD生长的MoS2镀膜制作电极，做电学性能测试，电极引脚的粗细是几个微米，长度是30um，电极材料是金！采用Sputter效果好还是E-beam效果好？另外靶材可以选择银吗？需不需要先镀一层铬或者钛增加黏着性？
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1楼 2018-10-18 09:27:24
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咖喱不甜

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以考虑镀一层过度层，这样薄膜好沉积上去
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2楼2018-11-09 13:35:46
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