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汕头大学海洋科学接受调剂
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zsnano

金虫 (正式写手)

[交流] AZ5214反转工艺注意的细节 已有3人参与

AZ5214这款胶,反转工艺时请严格按照工艺条件,比如一个细节有些同学不太会注意到的,就是匀胶烘烤完毕后,在转移样品的时候没有严格避光,在反转工艺过程中,相当于第一次曝光前泛曝了一次,显影时造成底部有残胶,蒸发金属时就会脱落。肯定是粘附性造成,评估原因时,需要考虑到这个原因。
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神马was浮云

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
AZ 5214,5~8um厚度下,最小开口和PR角度可以做到多少?

THX
2楼2019-01-08 14:53:50
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zsnano

金虫 (正式写手)

这款胶做不到那么厚,Az4620可以做到你要的厚度,陡直度在80度左右。你指的最小开口是分辨率吗?这个条件满足,可以做到3um

发自小木虫Android客户端
3楼2019-01-10 15:31:05
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众志启成

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
能做厚胶剥离又易去除的负胶有很多

发自小木虫Android客户端
4楼2019-06-15 21:29:12
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babyoflion

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 众志启成 at 2019-06-15 21:29:12
能做厚胶剥离又易去除的负胶有很多

推荐几个呗 不想用lor胶 太贵也麻烦
5楼2019-06-17 11:33:09
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