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z2010012286铁虫 (小有名气)
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[求助]
寻求三自由度高精度位移测量方法
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各位虫友好， 我目前想探测空间中一个点的三自由度位移，要求精度在1um--10um之间， 需要非接触式测量，看到很多PSD.CCD/CMOS这些光学测量，感觉这些应该能够实现。但是我学机械的，对光学这方面基本一窍不通，想请问一下各位虫友，有没有好的参考资料或者入门书籍之类的。最关键的是，我这个想法对不对。。。 谢谢各位~ |
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