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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有关PVD制备薄膜的沉积机理的两三个问题
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hugou2008

金虫 (小有名气)
TiN先生成（气相），再沉积    N2气氛等离子主要是N2+，不是N的负离子     等离子体跟基体里，电子的移动是相对自由的

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11楼2019-02-04 15:33:49
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柚子有皮

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
12楼2019-03-10 00:02:42
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