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kevin123581金虫 (正式写手)
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【求助】关于SEM下PDMS微结构变形的问题已有3人参与
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请问有用SEM测试过PDMS微结构的朋友么？ 第一次做，发现PDMS结构在SEM下非常诡异 PDMS做的结构是大约直径5-10um大小的半球阵列（微透镜阵列），但是在测试SEM的时候发现一些奇怪的东西（那些小小的半球之间的条纹），这个是由什么引起的呢？图片如下 OM里面貌似看不出那些东西，就SEM或者共聚焦显微镜下半球变成了这样，也不知道是因为sem和共聚焦的源能量导致还是pdms制备的时候造成的？ 有什么方法可以避免这个问题么？ 谢谢大家 再者，对于表面形态的测试，除了共聚焦和AFM，是否还有其他方法呢？ 学校的共聚焦精度达不到要求，尺寸形态测出来不准确。 AFM还没来得及测试，因为PDMS有点软，所以有点担心AFM能否用来测试。  光学显微镜拍的图像  SEM图像  SEM细节 |
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19楼2018-08-07 19:17:09
xiao阿力
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2楼2018-08-06 16:35:09
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3楼2018-08-06 16:45:28
kevin123581
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5楼2018-08-06 17:00:51
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6楼2018-08-06 17:01:15
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7楼2018-08-06 17:36:12
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8楼2018-08-06 17:36:31
kevin123581
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9楼2018-08-06 18:07:21
kevin123581
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10楼2018-08-06 18:08:12
5