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FLYFWY

木虫 (小有名气)

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[求助] 真空镀膜机用真空硅脂已有2人参与

镀膜机内有根丝杠转动时不顺畅，想抹点真空硅脂润滑一下，不知可行否？
真空硅脂用哪种比较好，因为镀膜时要加热，硅脂得耐一定温度。
谢谢！

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-07-02 09:21:10

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

首先查查丝杆不顺畅的原因。
1. 如果是生锈，稍微磨损或者高温材料表面氧化层什么的，那么清理后加真空脂可以润滑缓解；
2. 如果是丝杆上被溅射镀上了膜层，或者腔体粉尘容易堵塞其上，那么加真空脂适得其反：因为真空脂粘稠很容易吸灰，反而容易卡死，需要做好防灰尘。

真空脂可以试试道康宁dow corning 的。