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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 求硅片清洗流程（有效期至2009年4月20日）
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liangwu5

铜虫 (小有名气)
氢氟酸浸泡，用酒精超声、接着再用丙酮超声清洗。就可以了
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11楼2009-04-01 23:37:13
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dragonchen

金虫 (小有名气)
★
mqx_zm(金币+1,VIP+0):3kx 7-28 14:31
一般的清洗过程：1.用洗涤液清洗，然后用蒸馏水超声15min，冲洗几次，烘干，去除硅片表面附着的灰尘；
2.用丙酮超声10min，去除硅片表面附着的有机物；
3.用酒精清洗几次，丙酮易溶于酒精，去除丙酮；
4.用蒸馏水冲洗多次，然后将硅片烘干即可。
我以前镀膜就这么做的，效果还不错，你可以试试看。
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12楼2009-04-02 08:31:47
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yonay

金虫 (小有名气)
★
mqx_zm(金币+1,VIP+0):3kx 4-14 22:41
一号液：氨水：双氧水：去离子水=1：2：7
二号液：盐酸：双氧水：去离子水=1:1:5
我一直用的是这样的配比。
氢氟酸建议：百分十比例
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13楼2009-04-02 10:12:35
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zmandzl

银虫 (正式写手)
1.丙酮洗涤可以除去有机物；
2.盐酸：双氧水：去离子水除去一般氧化物
3.氨水：双氧水：去离子水对硅片有损伤
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14楼2009-07-27 13:03:45
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小小木船
15楼2009-07-27 13:09:17
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kevlar0223

金虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
mqx_zm(金币+4,VIP+0):3kx 7-28 14:31
硅片清洗，按道理说，应该是很严格的。

国内的一般实验室的净化条件是不够的。

硅片一般式丙酮，盐酸：双氧水：去离子水，然后去离子水洗涤多次。

洗涤后的硅片要用氮气吹干，这才算标准。
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从大处着眼,从小处着手
16楼2009-07-27 21:58:44
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lbxin986

铜虫 (初入文坛)
带有二氧化硅的硅片不能用氢氟酸
SiO2(s) + 4 HF(aq) → SiF4(aq) + 2 H2O(l)
纯硅片是用氢氟酸清洗，腐蚀掉上面的一薄层二氧化硅
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17楼2009-07-29 09:49:41
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