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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 干法刻蚀玻璃，粘片，ESD issue
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201516darry

金虫 (正式写手)
已领完
干法刻蚀玻璃，粘片，ESD issue
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干法刻蚀结束后，玻璃粘附在下电极上难以脱离，都是有哪些原因呢，还有刻蚀过程中是ESD异常，欢迎大家给出宝贵意见

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1楼2018-06-05 14:24:06
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201516darry

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
94楼: Originally posted by huang117365 at 2018-06-14 21:28:33
静电吸附，刻蚀完，加一个除静电的步骤

小木虫同学，这么精彩的回答，我为啥才看见，估计错过了提醒。可是客户不等刻蚀完，有ESD提示时，就把电极停掉了，相当于电极挂了，下机

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110楼2019-11-15 22:39:01
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9716267512楼
2018-06-05 14:24   回复  
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pandongzi3楼
2018-06-05 14:24   回复  
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hdchina20104楼
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tpkwjyyz5楼
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zhaoyouqiang6楼
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不说出的1237楼
2018-06-05 14:27   回复  
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润色论文8楼
2018-06-05 14:28   回复  
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wxiaona9楼
2018-06-05 14:29   回复  
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风电氢能10楼
2018-06-05 14:29   回复  
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C1041401611楼
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科研狗灏灝12楼
2018-06-05 14:29   回复  
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Yeven_Wong13楼
2018-06-05 14:32   回复  
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石头阿呆14楼
2018-06-05 14:33   回复  
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