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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 167.7
帖子: 200
在线: 39.5小时
虫号: 6349482
注册: 2017-04-19
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 求助，磁控溅射镀膜样品发白现象已有2人参与

磁控溅射沉积涂层时样品表面有发白，灰蒙蒙的情况，请各位大神指教可能是什么原因

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-05-27 14:47:44

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巡山老爷爷

银虫 (小有名气)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 303.9
散金: 20
红花: 2
帖子: 214
在线: 30.1小时
虫号: 3407787
注册: 2014-09-10
性别: GG
专业: 无机非金属类高温超导与磁

【答案】应助回帖

被氧化了，真空度抽的不够，腔体里面残留的空气跟你溅射的涂层发生了反应

大王叫我来巡山

8楼2018-06-25 15:39:25

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查看全部 8 个回答

091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

2楼2018-05-27 21:53:42

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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帖子: 317
在线: 374.5小时
虫号: 1370716
注册: 2011-08-17
性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

最好简要描述一下你的工艺
发白的问题原因有很多，每种材料都有特殊性

擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

3楼2018-05-28 18:59:24

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
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性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

引用回帖:

2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-05-27 14:53:42
我们也做磁控

好巧

擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

4楼2018-05-28 18:59:49

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