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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】如何阻止纳米粒子的团聚现象？
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by winipo at 2009-4-1 08:56:

你说的行程室是不同于溅射室的么？
如果是，要看具体真空结构，因为纳米粒子的平均自由程的限制，对沉积也有影响。
不然沉积速率会有影响的。

[ Last edited by winipo on 2009-4-1 at 09:01 ]

我们的溅射室和沉积室是分开的，目前来看基底温度和距离是本能改变了，能改变的是气流量，速率和真空度了，前两个都调过了，现在能在弄得就是真空度在抽搞一些了，靶材是Ti，做纳米粒子！
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31楼2009-04-01 10:26:36
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youwasd

铁杆木虫 (正式写手)
是不是跟时间长短有关啊
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32楼2009-04-01 21:15:29
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碧海蓝天5087

溅射到沉积过程中这个粒径怎么控制啊？
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33楼2009-04-02 15:17:39
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guoguo1829

金虫 (小有名气)
我也用射频磁控法制备纳米线，团聚经常会出现，一个是温度过高，再者就是减少气体流量。不知对你有用否？
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人不是鱼，怎会了解鱼的忧愁。鱼不是鸟，怎会了解鸟的快乐。鸟不是人，怎会了解人的荒唐。你不是我，怎会了解我。
34楼2009-04-03 10:07:12
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by guoguo1829 at 2009-4-3 10:07:
我也用射频磁控法制备纳米线，团聚经常会出现，一个是温度过高，再者就是减少气体流量。不知对你有用否？

应该有用，溅射法怎么能制备出纳米线的？能介绍下吗？
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35楼2009-04-03 11:29:31
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smallstar007

金虫 (著名写手)
怎么好多人都答非所问啊，就不看楼主问的什么，实在对这种方法不了解，磁控溅射一般我都用来长膜，制备纳米粒子还真没用过，爱莫能助

[ Last edited by smallstar007 on 2009-4-3 at 15:13 ]
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将科研进行到底！
36楼2009-04-03 15:09:27
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