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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by winipo at 2009-4-1 08:56:

你说的行程室是不同于溅射室的么?
如果是,要看具体真空结构,因为纳米粒子的平均自由程的限制,对沉积也有影响。
不然沉积速率会有影响的。

[ Last edited by winipo on 2009-4-1 at 09:01 ]

我们的溅射室和沉积室是分开的,目前来看基底温度和距离是本能改变了,能改变的是气流量,速率和真空度了,前两个都调过了,现在能在弄得就是真空度在抽搞一些了,靶材是Ti,做纳米粒子!
31楼2009-04-01 10:26:36
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youwasd

铁杆木虫 (正式写手)

是不是跟时间长短有关啊
32楼2009-04-01 21:15:29
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碧海蓝天5087

溅射到沉积过程中这个粒径怎么控制啊?
33楼2009-04-02 15:17:39
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guoguo1829

金虫 (小有名气)

我也用射频磁控法制备纳米线,团聚经常会出现,一个是温度过高,再者就是减少气体流量。不知对你有用否?
人不是鱼,怎会了解鱼的忧愁。鱼不是鸟,怎会了解鸟的快乐。鸟不是人,怎会了解人的荒唐。你不是我,怎会了解我。
34楼2009-04-03 10:07:12
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by guoguo1829 at 2009-4-3 10:07:
我也用射频磁控法制备纳米线,团聚经常会出现,一个是温度过高,再者就是减少气体流量。不知对你有用否?

应该有用,溅射法怎么能制备出纳米线的?能介绍下吗?
35楼2009-04-03 11:29:31
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smallstar007

金虫 (著名写手)

怎么好多人都答非所问啊,就不看楼主问的什么,实在对这种方法不了解,磁控溅射一般我都用来长膜,制备纳米粒子还真没用过,爱莫能助

[ Last edited by smallstar007 on 2009-4-3 at 15:13 ]
将科研进行到底!
36楼2009-04-03 15:09:27
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