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kevin123581金虫 (正式写手)
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[求助]
薄膜的TEM测试颗粒度的大小 已有2人参与
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请问我想要用TEM测量沉积的Si薄膜的颗粒度大小 ， 样品应该如何准备才好呢？ 听人说薄膜需要直接在铜网上? 还是一般的沉积在基底上也可以？ 对薄膜厚度有何要求，样品尺寸大小有何要求？ 谢谢大家 |
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kevin123581
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 如果铜网直接沉积没有影响那最好直接沉积到铜网，如果膜太厚或者铜网会有影响需要用转移或者其他办法处理，厚度越薄越好，高分辨尽量50nm以下 |
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kevin1235813楼2018-03-07 15:06:36
kevin123581
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