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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 射频反应溅射氧化镍
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唱唱想读研

新虫 (小有名气)

[交流] 射频反应溅射氧化镍

各位虫友，靶材是镍，射频溅射电源。我在反应溅射氧化镍时，功率设在80W，刚打开时辉光有点发白，感觉光亮度较大，20分钟后光强明显减弱，发紫。求教各位大神，可能是什么问题？
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1楼 2018-02-09 15:18:47
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唱唱想读研

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-02-10 19:39:04
具体原因我也不好分析，但是可以说说我遇到的一种情况：
1. 阴极磁场需要足够高，不然本身启辉就已经很极限；
2. 我在一个磁场设计不合理的阴极上做过实验（磁场比较弱），国外的射频电源溅射陶瓷靶。现象就是在一 ...

好的 谢谢
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13楼2020-06-05 15:04:17
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yangyu1995

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一开始就有氧气么？

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7楼2018-02-09 17:13:50
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
具体原因我也不好分析，但是可以说说我遇到的一种情况：
1. 阴极磁场需要足够高，不然本身启辉就已经很极限；
2. 我在一个磁场设计不合理的阴极上做过实验（磁场比较弱），国外的射频电源溅射陶瓷靶。现象就是在一定气压下，射频电源会变匹配点，Cl Ct会变位置：表观上就是自偏压会有个比较大的突变，辉光也会有突变。
3. 针对我们的现象我能给出的解释就是腔体整体的容抗和感抗并不很理想，导致射频匹配很极限。
4. 而映射到你的这个现象，可能从增大气压和增强磁场两个方面入手，你多观察下是否会改善。
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9楼2018-02-10 19:39:04
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主描述的现象很准确，1.刚开始辉光大白是靶材表面有氧化物。2.之后变紫，是因为氩气的辉光颜色是紫色。对应措施，1.正式溅射前，要进行预溅射，时间大约5分钟。2.楼主可以测一下此次样品的成分，看一下膜层是氧化镍还是镍，根据结果调整氧气流量。

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10楼2018-02-11 07:21:31
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