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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 请问如何将硅片上未固化的PDMS清洗掉？
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skolari

新虫 (小有名气)

[求助] 请问如何将硅片上未固化的PDMS清洗掉？ 已有1人参与

因为PDMS和固化剂的比例配错了，导致PDMS没有固化，但是做好的片子不想就这么废了。。。

请问怎样才能把黏黏的PDMS清洗掉，又不损伤片子
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1楼 2018-01-31 10:02:07
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by skolari at 2018-01-31 11:28:31
谢谢，甲苯对硅片上的光刻胶有影响吗？...

你用SU8做的模板吧，这样的话，用溶剂的话都会挂掉。SU8不会溶解，但是会被溶胀，会产生微裂纹，或者直接剥离。
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11楼2018-02-01 13:02:47
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ren201143488

新虫 (职业作家)
祝好

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2楼2018-01-31 10:33:47
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)
用甲苯浸泡

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3楼2018-01-31 10:34:53
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小小锁锁

银虫 (小有名气)
可以试试丙酮加热浸泡~

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4楼2018-01-31 10:38:19
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