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[交流]
求助：等离子体中的放电问题
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| 在等离子腔体中采用碘钨灯加热衬底，为什么在裸露的铜丝和个别灯管接线柱处会有放电现象？（采用铝箔屏蔽的办法仍然放电）应该不是接触的问题吧，请问各位有什么好的意见和办法能避免放电？ |
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dilin987852
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dilanbo
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