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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 磁控溅射真空检漏
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tzsigouzzz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by Keeway at 2018-01-16 19:23:07
磁控靶冷却效果不好

你好，可以说下怎么解决吗，具体是什么样的，谢谢了

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11楼2018-01-17 11:09:23
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Keeway

新虫 (初入文坛)
把靶的冷却水管打开一路，鼓气，看看堵没堵。

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12楼2018-01-17 20:17:44
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