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汕头大学海洋科学接受调剂
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AaronTheMage

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[求助] 用PDMS加工微结构,如何保证不把硅片上的光刻胶撕掉 已有4人参与

小弟用PDMS做微加工,用负胶su8做为倒模的图案,但是倒模后切PDMS时候经常会把光刻胶一起撕下来导致倒模失败(已经很慢很小心了),求大神帮忙怎么能增加光刻胶和硅片的粘附力从而使其不会被连带着撕下来,多谢!!
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AaronTheMage

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引用回帖:
6楼: Originally posted by 温馨妹妹 at 2018-01-20 14:25:36
涂胶前旋涂一层HMDS

涂多少量呢,涂hmds的原理是什么呢
7楼2018-01-21 17:05:27
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材料木木

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
倒pdms前硅烷化熏蒸一晚上。
不高不帅,没钱没时间。但还是希望有个伴。
2楼2018-01-09 16:01:50
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nice_xiao

新虫 (初入文坛)

硅烷化处理,10min就够了。。。
3楼2018-01-09 16:24:53
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AaronTheMage

捐助贵宾 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 材料木木 at 2018-01-09 16:01:50
倒pdms前硅烷化熏蒸一晚上。

硅烷化的原理是什么啊?

发自小木虫IOS客户端
4楼2018-01-09 20:33:36
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