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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用PDMS加工微结构，如何保证不把硅片上的光刻胶撕掉
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AaronTheMage

捐助贵宾 (著名写手)

[求助] 用PDMS加工微结构，如何保证不把硅片上的光刻胶撕掉 已有4人参与

小弟用PDMS做微加工，用负胶su8做为倒模的图案，但是倒模后切PDMS时候经常会把光刻胶一起撕下来导致倒模失败（已经很慢很小心了），求大神帮忙怎么能增加光刻胶和硅片的粘附力从而使其不会被连带着撕下来，多谢！！
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1楼 2018-01-09 15:01:17
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yanqingzhi

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by AaronTheMage at 2018-01-21 17:05:27
涂多少量呢，涂hmds的原理是什么呢...

如果是硅基底的话，静置在空气中容易被氧化而出现一层二氧化硅膜，这层膜是亲水性的（含有氢氧根离子）。而光刻胶的特性是疏水的（含有氢离子），要使光刻胶粘附牢固，就要使基底表现出疏水性，HMDS就是这个作用了。HMDS通常蒸镀在基底表面，其中的成分会使氢氧根离子变成氢离子，从而使基底表现出疏水性，增加胶与基底的粘附性。
至于涂的厚度，我也没有具体数据告诉你，只是，一、HMDS有毒，使用务必小心；二、增加胶的黏附性也会增加去胶的难度，有利有弊。
以上，希望能够帮到你。如有错误，也请指出。
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8楼2018-02-22 16:57:17
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nice_xiao

新虫 (初入文坛)
硅烷化处理，10min就够了。。。
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3楼2018-01-09 16:24:53
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AaronTheMage

捐助贵宾 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 材料木木 at 2018-01-09 16:01:50
倒pdms前硅烷化熏蒸一晚上。

硅烷化的原理是什么啊？

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4楼2018-01-09 20:33:36
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温馨妹妹

新虫 (初入文坛)
涂胶前旋涂一层HMDS

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6楼2018-01-20 14:25:36
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普通回帖

材料木木

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
倒pdms前硅烷化熏蒸一晚上。
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不高不帅，没钱没时间。但还是希望有个伴。
2楼2018-01-09 16:01:50
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材料木木

新虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by AaronTheMage at 2018-01-09 20:33:36
硅烷化的原理是什么啊？
...

没去思考，只是觉得这有用。

发自小木虫Android客户端
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不高不帅，没钱没时间。但还是希望有个伴。
5楼2018-01-09 21:58:42
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AaronTheMage

捐助贵宾 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 温馨妹妹 at 2018-01-20 14:25:36
涂胶前旋涂一层HMDS

涂多少量呢，涂hmds的原理是什么呢
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7楼2018-01-21 17:05:27
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刘德龙

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

脱模的时候可以考虑不用手撕，放入乙醇中进行超声
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9楼2018-02-25 10:26:32
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AaronTheMage

捐助贵宾 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yanqingzhi at 2018-02-22 16:57:17
如果是硅基底的话，静置在空气中容易被氧化而出现一层二氧化硅膜，这层膜是亲水性的（含有氢氧根离子）。而光刻胶的特性是疏水的（含有氢离子），要使光刻胶粘附牢固，就要使基底表现出疏水性，HMDS就是这个作用了 ...

你好，请问HMDS的毒性主要体现在什么方面呢？我们实验室无法进行蒸镀，只有一个匀胶机，请问可不可以在匀胶机上进行涂抹呢？我们实验室的硅片一般不进行重复利用，所以一般不考虑去胶的难度问题。谢谢！
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10楼2018-02-26 13:55:43
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