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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 关于磁控溅射设备真空度的问题
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小?虫

新虫 (初入文坛)
油扩散泵小了点，漏气

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11楼2018-01-13 11:54:58
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小?虫

新虫 (初入文坛)
一般-3Pa不需要烘烤就能抽到

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12楼2018-01-13 11:56:08
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sirius0913

新虫 (初入文坛)
扩散泵放油口可能会漏气，还有就是扩散泵需要保养了。
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13楼2018-01-17 15:16:53
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lypo20

新虫 (初入文坛)
我这一个漏气点，检漏检了一个月，终于找到了，是最不可能的地方
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14楼2018-09-10 19:57:09
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1487057253

金虫 (正式写手)
借个楼，请问题主对玻璃扩散泵了解的多吗，同样遇到了真空抽不下来的问题

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15楼2021-01-30 14:15:30
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