| 查看: 1920 | 回复: 10 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
石墨烯场效应管漏电
|
||
想问下有人用PECVD直接在衬底生长石墨烯，然后做成石墨烯背栅场效应晶体管吗？本人最近在做这个，但是器件栅源一直在漏电，原来认为是氧化硅层的问题，买了好几家氧化硅片做出来的还是漏电，感觉是生长石墨烯的时候plasma导致氧化硅层的漏电 不知道咋办 ，求做过这方面的大神或了解这方面的大神指教啊!!!不盛感谢~~~ |
回复此楼
liuysh07
金虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1471.6
- 散金: 1005
- 红花: 4
- 帖子: 640
- 在线: 285.7小时
- 虫号: 1379114
- 注册: 2011-08-24
- 性别: GG
- 专业: 光谱分析
9楼2018-05-07 18:24:38
modestywang
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 11.6
- 帖子: 39
- 在线: 25.1小时
- 虫号: 4069051
- 注册: 2015-09-13
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
2楼2017-10-30 20:07:53
3楼2017-10-30 20:17:37
modestywang
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 11.6
- 帖子: 39
- 在线: 25.1小时
- 虫号: 4069051
- 注册: 2015-09-13
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
4楼2017-10-30 20:22:20