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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 石墨烯场效应管漏电
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wangyaru727

新虫 (初入文坛)

[求助] 石墨烯场效应管漏电

想问下有人用PECVD直接在衬底生长石墨烯，然后做成石墨烯背栅场效应晶体管吗？本人最近在做这个，但是器件栅源一直在漏电，原来认为是氧化硅层的问题，买了好几家氧化硅片做出来的还是漏电，感觉是生长石墨烯的时候plasma导致氧化硅层的漏电   不知道咋办，求做过这方面的大神或了解这方面的大神指教啊!!!不盛感谢~~~
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1楼 2017-10-30 19:52:39
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wangyaru727

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by modestywang at 2017-10-30 20:22:20
进口的挺贵的，一般都得500一片。。。4寸的，我们是在苏州一个微纳公司买的

真是贵啊。。。不过如果不漏电的话也是值了。就怕买回来还是漏电的话就要被老板骂了。请问你们用的那个片子是拿来用PECVD长石墨烯然后没有漏电吗？
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5楼2017-10-31 09:46:15
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modestywang

新虫 (初入文坛)
之前遇到过，plasma好像真有影响，之前经常用plasma处理硅片，发现漏电太多了，后来没用。。。而且不要用国产硅片做FET，还是用进口的吧

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2楼2017-10-30 20:07:53
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wangyaru727

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by modestywang at 2017-10-30 20:07:53
之前遇到过，plasma好像真有影响，之前经常用plasma处理硅片，发现漏电太多了，后来没用。。。而且不要用国产硅片做FET，还是用进口的吧

啊这样啊  我买的都是国产的重参杂氧化硅片 还100一片呢才2寸   请问你知道从哪里买国外的吗？推荐下   谢谢啊
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3楼2017-10-30 20:17:37
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modestywang

新虫 (初入文坛)
进口的挺贵的，一般都得500一片。。。4寸的，我们是在苏州一个微纳公司买的

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4楼2017-10-30 20:22:20
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