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求助各位大神,DLC镀不上,可能是什么原因!
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新虫
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专业: 金属功能材料
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求助各位大神,DLC镀不上,可能是什么原因!
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求助各位大神,最近在做DLC薄膜,明明靶材已经起辉了,但是最后硅片上却什么没有,有大神知道这可能是什么原因吗!
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1楼
2017-10-28 10:18:57
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天龙八部
铁杆木虫
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在线: 200.9小时
虫号: 843028
注册: 2009-09-08
专业: 金属材料表面科学与工程
硅片太光滑了,无粘结强度
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3楼
2017-10-29 07:42:11
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虫号: 843028
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专业: 金属材料表面科学与工程
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
硅片太光滑了,无粘结强度
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2楼
2017-10-29 07:41:45
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LAnza_lw
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性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
启辉只是说明有等离子体具体反应的发生应该观察靶辉光的颜色,看一下有没有中毒
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PVD,磁控溅射,金属镀膜,研发工程师
4楼
2017-11-08 09:54:26
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新虫
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老兄问题解决了吗
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5楼
2018-10-09 11:17:01
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