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求助!! TAT 低压cvd生长双层石墨烯 已有2人参与
求助 低压生长双层石墨烯 什么都长不出来 烧完后铜片在显微镜下可以看到密密麻麻都是坑 铜片也会变得没有光泽 求问大家有过类似情况 或知道解决的方法吗 我用的是1050摄氏度 1055 1000 1040也都试过 甲烷是0.9sccm 氢气 200sccm压强 10kPa 希望大家可以给我点信息 给我点思路 谢谢大家了!
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