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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 电子束蒸发Pt、Ti、Au所用坩埚
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小麦麦123

铁虫 (初入文坛)

[交流] 电子束蒸发Pt、Ti、Au所用坩埚 已有4人参与

请问电子束蒸发Pt、Ti、Au用什么材质的坩埚？目前用的是石墨坩埚，坩埚经常出现裂纹，请问有什么解决办法吗？
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兰陵小磊

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1楼 2017-10-17 16:07:51
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用磁控溅射做会更致密一些吧

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2楼2017-10-17 21:03:46
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
坩埚大小不合适，跟水冷贴合不好

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3楼2017-10-17 22:47:01
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小麦麦123

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-10-17 21:03:46
用磁控溅射做会更致密一些吧

我们有些需要用电子束蒸发
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4楼2017-10-18 08:38:34
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小麦麦123

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lvyiyilv at 2017-10-17 22:47:01
坩埚大小不合适，跟水冷贴合不好

坩埚的材质会有影响吗？
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5楼2017-10-18 08:40:35
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445101273

银虫 (小有名气)
主要是石墨的强度不好，可以尝试用下C/C的坩埚或者C/SiC的坩埚，有兴趣可以私聊哦！

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6楼2017-11-24 22:17:00
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兰陵小磊

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
请问你们石墨坩埚开裂的问题解决了吗？？我现在也遇到相同的问题。谢谢。
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7楼2018-08-22 20:32:47
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小麦麦123

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 兰陵小磊 at 2018-08-22 20:32:47
请问你们石墨坩埚开裂的问题解决了吗？？我现在也遇到相同的问题。谢谢。

没有……你呢？
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8楼2018-08-29 10:55:23
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兰陵小磊

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 小麦麦123 at 2018-08-29 10:55:23
没有……你呢？...

我也没有解决，当前行业内有没有参考？我看你这个都快一年了
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9楼2018-09-03 11:58:13
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小麦麦123

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 兰陵小磊 at 2018-09-03 11:58:13
我也没有解决，当前行业内有没有参考？我看你这个都快一年了...

很多人都不用石墨坩埚的，直接把料放在设备自带的水冷铜坩埚里
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10楼2018-09-03 20:48:04
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