24小时热门版块排行榜    

查看: 876  |  回复: 20
当前主题已经存档。

120101405

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★
lisa-sun(金币+5,VIP+0):谢谢!链接打不开:( 2-19 19:09
常压化学气相沉积法(APCVD) :
所谓常压化学气相沉积法(APCVD,Atmospheric pressure CVD),就是在气压接近常压下进行CVD反应的一种沉积方式,此法的沉积速度极快,约为600-1000奈米/分。APCVD的操作压力接近一大气压,气压分子间的碰撞频率很高,同质成核的 "气相反应" 容易发生,易产生微粒。在工业界的应用上,APCVD的使用大都集中在对微粒的忍受能力较大的制程上,如保护层(passivation)。常压化学气相沉积设备,在VLSI的制程中,常用所谓的连续式系统来完成APCVD的工作,这种连续的APCVD,主要是由一条晶圆输送带及传送反应气体的 "喷气器" 所组成。输送带上的晶圆经马达的传送,缓缓地送入APCVD的反应室内,输送带下方的加热器被用来加热晶圆,化学气相沉积所需的气体,经由喷气器的喷嘴送往正下方的晶圆,CVD的沉积层便覆盖在晶圆表面,而达到化学气相沉积的目的。

这有2篇使用实例,可能对你有用,你可以看看
http://www.namipan.com/d/APCVD%e ... 8%86%9c%e7%9a%84%e7
http://www.namipan.com/d/%e5%b8% ... %e6%b2%89%e7%a7%af%
谦逊求教才能更进一步
11楼2009-02-19 12:50:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cuiwhu

至尊木虫 (小有名气)

5500 Series Atmospheric Pressure CVD Systems
http://www.sierratherm.com/products/5500
SIBCO China
Room 1501, FengYing XingHai Building
No. 180 Shengli Rd., Shahekou District
Dalian, Liaoning Province
116021 P.R. China
Contact: Mr. Ton Schless
MP: 135-9182-8285
Phone: +86-(0)411-8433-5622
Fax: +86-(0)411-8432-4277
Email:  tschless@sibco.com
12楼2009-02-19 15:02:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whictliu

银虫 (小有名气)

哈哈,牛人不是都已经出来了么?

我会再接再厉的。
13楼2009-02-19 15:02:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cuiwhu

至尊木虫 (小有名气)

http://detail.china.alibaba.com/buyer/offerdetail/64049322.html
供应美国产太阳能电池生产线设备APCVD和Belt
14楼2009-02-19 15:07:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lisa-sun

木虫 (小有名气)

楼上的,
google上搜的吧,不能算啊!
15楼2009-02-19 19:11:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lisa-sun

木虫 (小有名气)

16楼2009-02-21 09:13:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lisa-sun

木虫 (小有名气)

17楼2009-02-23 09:00:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lisa-sun

木虫 (小有名气)

18楼2009-02-24 10:27:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Toby_John

铁杆木虫 (职业作家)

APCVD设备供应商

SierraTherm        美国        www.sierratherm.com

华基光电               中国      http://www.chinasolar-energy.com/index.php?page=sales_SnO2
19楼2009-02-24 10:40:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Toby_John

铁杆木虫 (职业作家)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
lisa-sun(金币+8,VIP+0):谢谢啦,我下下来看看哈! 2-25 20:52
给楼主一些APCVD的详细资料,不知道有没有帮助
见纳米盘

http://www.namipan.com/d/APCVD.r ... 53e14498d252dc92b00
20楼2009-02-24 10:57:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lisa-sun 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见