靶材表面变成这样正常吗？ - 功能材料 - 光学材料 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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10楼: Originally posted by vincentwz at 2017-09-05 21:03:25
靶背面有没有涂硅脂？
看靶表面这颜色，还是觉得是过热了
...

没有，背面需要涂硅脂？我刚接触此设备，而且目前还有很多不知道的事情，望前辈以后多多指教！

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11楼2017-09-06 07:23:03

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10楼: Originally posted by vincentwz at 2017-09-05 21:03:25
靶背面有没有涂硅脂？
看靶表面这颜色，还是觉得是过热了
...

过热怎么处理，涂导热硅脂吗？

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12楼2017-09-06 07:23:57

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vincentwz

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12楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-09-06 07:23:57
过热怎么处理，涂导热硅脂吗？
...

是的

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13楼2017-09-06 10:54:22

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10楼: Originally posted by vincentwz at 2017-09-05 21:03:25
靶背面有没有涂硅脂？
看靶表面这颜色，还是觉得是过热了
...

硅脂买哪种的好？前辈

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14楼2017-09-07 10:13:12

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vincentwz

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14楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-09-07 10:13:12
硅脂买哪种的好？前辈
...

https://www.amazon.com/MeiVac-TP ... Paste/dp/B00OVHSS2K

15楼2017-09-12 09:23:03

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靶材表面这样肯定是不正常的，你看下是否是过热了，再多调整下工艺参数
实在不行，你就换成氮化钛靶材去溅射镀膜，这样简易很多

16楼2017-09-13 15:30:36

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靶材烧焦了，表面被氧化了，应该是使用的时候温度太高导致，用的时候控制一下温度。另外靶材表面清理以后再用

专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材

17楼2017-09-14 15:20:37

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DDJOKER

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可能功率调的太大了，试着调低一些

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18楼2017-09-15 01:04:23

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起辉中毒了吧，你预溅射一会，把表面这一层去除掉，再试试？
或者是你看看电路是否短路了

19楼2018-08-31 15:58:48

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