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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by vincentwz at 2017-09-05 21:03:25
靶背面有没有涂硅脂?
看靶表面这颜色,还是觉得是过热了
...

没有,背面需要涂硅脂?我刚接触此设备,而且目前还有很多不知道的事情,望前辈以后多多指教!

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11楼2017-09-06 07:23:03
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by vincentwz at 2017-09-05 21:03:25
靶背面有没有涂硅脂?
看靶表面这颜色,还是觉得是过热了
...

过热怎么处理,涂导热硅脂吗?

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12楼2017-09-06 07:23:57
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-09-06 07:23:57
过热怎么处理,涂导热硅脂吗?
...

是的

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13楼2017-09-06 10:54:22
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by vincentwz at 2017-09-05 21:03:25
靶背面有没有涂硅脂?
看靶表面这颜色,还是觉得是过热了
...

硅脂买哪种的好?前辈

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14楼2017-09-07 10:13:12
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-09-07 10:13:12
硅脂买哪种的好?前辈
...

https://www.amazon.com/MeiVac-TP ... Paste/dp/B00OVHSS2K
15楼2017-09-12 09:23:03
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶材表面这样肯定是不正常的,你看下是否是过热了,再多调整下工艺参数
实在不行,你就换成氮化钛靶材去溅射镀膜,这样简易很多
16楼2017-09-13 15:30:36
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sciencetechn

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶材烧焦了,表面被氧化了,应该是使用的时候温度太高导致,用的时候控制一下温度。另外靶材表面清理以后再用
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
17楼2017-09-14 15:20:37
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DDJOKER

新虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可能功率调的太大了,试着调低一些

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18楼2017-09-15 01:04:23
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
起辉中毒了吧,你预溅射一会,把表面这一层去除掉,再试试?
或者是你看看电路是否短路了
19楼2018-08-31 15:58:48
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