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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射射频电源
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sz1986

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射射频电源 已有3人参与

各位虫友，实验室有一台丹顿品牌的磁控溅射，其中的射频电源（SEREN-赛恩）坏了，大家有没有这方面的维修经验，急求！！！！
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1楼 2017-08-16 14:34:30
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zwy198759

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般情况下，射频电源连续使用时间不超过8小时，可能是电子管坏了吧，联系维修吧！
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3楼2017-08-17 21:15:12
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
设备过质保期了吗？没有的话可以找厂家，过了的话，需要市场上面有这方面的维修人员，祝福楼主找点解决问题
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QQ：1723046531
2楼2017-08-16 16:03:55
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匿名

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11楼2017-08-22 21:50:49
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

不知道你所说的坏是什么类型的，启动不了还是电源开启不来？还是匹配不上？这个还是具体问题具体分析，使用射频快10年了，各种问题都出现过，常见的就是真空电容损坏这个还好办，如果是电路问题，还是找专业维修吧，或者再采购一台
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
12楼2017-11-21 16:37:57
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