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sz1986

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射射频电源已有3人参与

各位虫友,实验室有一台丹顿品牌的磁控溅射,其中的射频电源(SEREN-赛恩)坏了,大家有没有这方面的维修经验,急求!!!!
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匿名

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11楼2017-08-22 21:50:49
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
设备过质保期了吗?没有的话可以找厂家,过了的话,需要市场上面有这方面的维修人员,祝福楼主找点解决问题
QQ:1723046531
2楼2017-08-16 16:03:55
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zwy198759

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般情况下,射频电源连续使用时间不超过8小时,可能是电子管坏了吧,联系维修吧!
3楼2017-08-17 21:15:12
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

不知道你所说的坏是什么类型的,启动不了还是电源开启不来?还是匹配不上?这个还是具体问题具体分析,使用射频快10年了,各种问题都出现过,常见的就是真空电容损坏这个还好办,如果是电路问题,还是找专业维修吧,或者再采购一台
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
12楼2017-11-21 16:37:57
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