| 查看: 1972 | 回复: 6 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
夸克duscbt新虫 (初入文坛)
|
[交流]
石英单晶上光刻，图案脱落:(
|
||
石英单晶上光刻，图案脱落 描述：衬底 石英单晶 表面抛光过，粗糙度<0.5nm 先用丙酮，酒精，去离子水各超声半小时，然后在紫外-臭氧机下又清洗1小时 光刻胶：AZ1500 旋涂条件：1200rmp加速，5000rmp旋涂50秒 前烘：100摄氏度 90~180s 曝光时间：70s 显影：50s 定影：50s 氮气吹干 问题：发现图案脱落或者错位的概率很高  ，一共处理了7片石英，只有两片是好的，其余5片都有不同程度的图案脱落，错位或者断裂，有时定影完肉眼可见图案错位，然后氮气吹完图案完全散掉。求助各位大神是什么原因？石英单晶上能否使用光刻？ |
回复此楼
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
5楼2017-05-16 16:48:45
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2017-05-11 11:45:34
夸克duscbt
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1.5
- 散金: 7
- 帖子: 12
- 在线: 14.4小时
- 虫号: 1633171
- 注册: 2012-02-21
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2017-05-11 16:28:29
hsdwlxhx
金虫 (正式写手)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 2986.8
- 散金: 204
- 红花: 6
- 帖子: 430
- 在线: 318.5小时
- 虫号: 1537165
- 注册: 2011-12-14
- 性别: GG
- 专业: 配位化学
4楼2017-05-11 21:32:58
20