应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石英单晶上光刻，图案脱落:(
71/1返回列表
查看: 1836  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

夸克duscbt

新虫 (初入文坛)

[交流] 石英单晶上光刻，图案脱落:(

石英单晶上光刻，图案脱落

描述：衬底 石英单晶 表面抛光过，粗糙度<0.5nm
          先用丙酮，酒精，去离子水各超声半小时，然后在紫外-臭氧机下又清洗1小时

           光刻胶：AZ1500 旋涂条件：1200rmp加速，5000rmp旋涂50秒
           前烘：100摄氏度 90~180s
           曝光时间：70s
           显影：50s 定影：50s 氮气吹干

问题：发现图案脱落或者错位的概率很高，一共处理了7片石英，只有两片是好的，其余5片都有不同程度的图案脱落，错位或者断裂，有时定影完肉眼可见图案错位，然后氮气吹完图案完全散掉。求助各位大神是什么原因？石英单晶上能否使用光刻？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-05-11 10:24:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
夸克duscbt: 金币+2 2017-05-16 16:32:28
你这个是漂胶了。你需要一瓶HMDS，用来熏蒸或者涂敷在石英衬底表面。可以找研材微纳买。
石英是氧化硅，亲水的，和有机高分子树脂材料的粘附性是很差的，一般做光刻都需要进行表面处理，HMDS就是最常用的试剂。
另外，就是在旋涂之前，用热板或者烘箱120°C以上烘烤至少10分钟，以保证片子上的水汽充分挥发，才能很好保证黏附，这样做就不一定需要HMDS了。
话说，卖你胶和片子的，不提供技术支持吗？
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2017-05-11 11:45:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

夸克duscbt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-11 11:45:34
你这个是漂胶了。你需要一瓶HMDS，用来熏蒸或者涂敷在石英衬底表面。可以找研材微纳买。
石英是氧化硅，亲水的，和有机高分子树脂材料的粘附性是很差的，一般做光刻都需要进行表面处理，HMDS就是最常用的试剂。
另 ...

我是在学校的公共微加工平台上光刻，AZ胶的说明书上也没有写，晶片是找长晶体公司特殊定制抛光的所以也不提供光刻方面的技术支持。我准备先试试120烘烤。

我们微加工的主管老师也建议使用HMDS，所以我想请问HMDS应该怎样涂覆呢？可以用旋涂胶的办法吗？多谢大神！
赞一下 回复此楼
3楼2017-05-11 16:28:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hsdwlxhx

金虫 (正式写手)
2楼正解

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
BringLightonChip
4楼2017-05-11 21:32:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
夸克duscbt: 金币+1 2017-05-16 17:05:49
引用回帖:
3楼: Originally posted by 夸克duscbt at 2017-05-11 16:28:29
我是在学校的公共微加工平台上光刻，AZ胶的说明书上也没有写，晶片是找长晶体公司特殊定制抛光的所以也不提供光刻方面的技术支持。我准备先试试120烘烤。

我们微加工的主管老师也建议使用HMDS，所以我想请问HMD ...

可以用旋涂，但是最好是熏蒸（真空烘箱或者专门治具），因为HMDS有一定的慢性毒性，所以很多人不愿意旋涂。我认为做好保护，在通风橱里面旋涂，偶尔做一次没啥，又不是天天做。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2017-05-16 16:48:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

夸克duscbt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-16 16:48:45
可以用旋涂，但是最好是熏蒸（真空烘箱或者专门治具），因为HMDS有一定的慢性毒性，所以很多人不愿意旋涂。我认为做好保护，在通风橱里面旋涂，偶尔做一次没啥，又不是天天做。...

多谢！
回复此楼
6楼2017-05-16 17:05:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jacklee0601

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问你们用的紫外臭氧机是什么牌子和型号的？
赞一下 回复此楼
7楼2019-03-12 19:55:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 夸克duscbt 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +4 白云123456789 2026-04-13 4/200 2026-04-16 00:18 by 粉沁若尘
[考研] 327求调剂 +25 Xxjc1107. 2026-04-13 27/1350 2026-04-15 23:22 by Equinoxhua
[考研] 273求调剂 +6 白居不易. 2026-04-09 8/400 2026-04-15 22:02 by wooluyong
[考研] 求调剂 +11 小聂爱学习 2026-04-11 15/750 2026-04-15 21:57 by noqvsozv
[考研] 291分调剂 +11 上岸小莹加油 2026-04-09 12/600 2026-04-15 21:55 by noqvsozv
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +6 随心所欲☆ 2026-04-15 7/350 2026-04-15 21:45 by lbsjt
[考研] 一志愿沪9，生物学326求调剂 +7 刘墨墨 2026-04-15 7/350 2026-04-15 18:51 by 浮云166
[考研] 药学305求调剂 +7 玛卡巴卡boom 2026-04-11 7/350 2026-04-15 13:21 by 西北望—风沙
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[考研] 085501机械专硕 302分 不挑专业求调剂 +7 汪某. 2026-04-09 7/350 2026-04-11 14:37 by luhong1990
[考研] 0859，337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +16 叶zilin 2026-04-10 16/800 2026-04-11 11:04 by may_新宇
[考研] 22408 327分求调剂 +4 韵风kon 2026-04-10 4/200 2026-04-11 09:51 by 猪会飞
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH（等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 309求调剂 +14 wdhw 2026-04-10 15/750 2026-04-10 21:06 by zhouxiaoyu
[考研] 265求调剂 +12 风说她早忘了 2026-04-10 13/650 2026-04-10 18:56 by chemisry
[考研] 一志愿京区985，085401电子信息，本科电子信息 +3 阳光开朗的男孩 2026-04-10 3/150 2026-04-10 16:29 by sophia_93
[考研] 344求调剂 +7 丶风雪夜归人丶 2026-04-09 7/350 2026-04-10 12:05 by pengliang8036
[考研] 083200 初试305分 求调剂 暂不考虑跨专业 +15 Claireyyyy 2026-04-09 15/750 2026-04-09 16:11 by zhuimr
[考研] 化学工程与技术专业一志愿哈工程 291分B区 国家级大创负责人 有一作论文 +13 Emmy~ 2026-04-09 13/650 2026-04-09 14:47 by only周
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭