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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 直流磁控溅射二氧化钛能起辉，但不能沉积
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SWincon

新虫 (初入文坛)

[交流] 直流磁控溅射二氧化钛能起辉，但不能沉积 已有1人参与

请问是什么原因呢？溅射氧化铜的时候没有问题

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1楼 2017-03-29 11:54:36
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SWincon

新虫 (初入文坛)
请问有大神知道吗

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2楼2017-03-29 14:28:15
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首选

新虫 (初入文坛)
换成射频的试试

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3楼2017-03-30 22:21:31
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