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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 核物理 » 超高真空方面问题求教
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新虫 (初入文坛)

[求助] 超高真空方面问题求教已有4人参与

请问超高真空10的负7次方Pa量级获取方法，需要哪些泵？

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1楼2016-12-01 15:39:01
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xiaoyuehit

铜虫 (小有名气)
开启离子泵的时候需要关闭机械泵，只能用离子泵做前级泵，因为高真空环境机械泵会成为漏点，

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21楼2019-05-17 20:16:52
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fullons

捐助贵宾 (正式写手)
机械泵加分子泵

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耐得住孤独，是成功必要条件。
2楼2016-12-01 23:29:51
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般情况下，需要分子泵（国产）+离子泵或者多级分子泵（进口的）。如果要求更高，还可以有吸气剂泵

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3楼2016-12-02 07:10:31
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
机械泵加分子泵到10的负7次方。然后开离子泵，关机机械泵和分子泵可抽至10的负7次方以上。

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没有困难创造困难也要上网。
4楼2016-12-02 07:37:42
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