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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 哪里可以做加工300到600nm周期性图案的？
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来吧

银虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by superceng at 2016-11-14 16:27:15
我也需要~~~

我这边可以做，EBL 500每小时，有需要可以联系我，high.silicon.steel@gmail.com
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11楼2016-12-21 22:15:40
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来吧

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
xukaixkx: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-12-29 11:07:08
不知道你找到代工的没有？我可以做这些，小到10纳米，高到微米级别，都可以做。感兴趣的话，联系我high.silicon.steel@gmail.com 请附上需要加工的图案及各种要求
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12楼2016-12-21 22:18:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

600nm周期以下的，基本上就用电子束光刻吧，国内外加工的stepper很难达到300nm线条的水平的。
可以找研材微纳，他们做电子束光刻挺多的。
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13楼2017-01-22 15:23:12
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