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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米台阶高度测量
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Thomas3935

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

测量结果的误差来自方方面面。没有一个方法是十全十美的。

若是状况好的探针式台阶仪，repeatability是很好的。但是一般台阶仪一次只能测一组数据，当然不能综合说明你做的纳米台阶高度。

AFM扫的是一个面，但是范围不大。那就要看你台阶的分布，或者你样品基底的平整度，否则纳米级别的台阶高度是测不准的。

光学轮廓仪也可以测纳米级的台阶高度，但是需要考虑膜和基底的N，K系数的差异性。但是，它的好处是测试范围相对大，测试速度快。

若有兴趣，可深入探讨！
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11楼2016-11-17 14:00:33
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Thomas3935

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 未成曲_调721 at 2016-11-10 11:29:45
我来回答楼上问题吧。计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成；针对计量型原子力显微测量系统，采用三维激光干涉测量系统作为测量基准，以实现原子 ...

这是杀鸡用牛刀啊！

这种显微镜一般都是放在恒温恒湿极低气流环境里的。
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12楼2016-11-17 14:03:54
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Thomas3935

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by 王倩113251 at 2016-11-10 10:49:54
楼主说的误差大事因为测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降。

呵呵，一般都是12.5微米的人工钻石做stylus的针尖。

大部分情况是Stylus的顶部被杂质（例如光刻胶等）污染。
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13楼2016-11-17 14:08:35
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