应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米台阶高度测量
132/2返回列表上一页12
查看: 2077  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Thomas3935

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

测量结果的误差来自方方面面。没有一个方法是十全十美的。

若是状况好的探针式台阶仪，repeatability是很好的。但是一般台阶仪一次只能测一组数据，当然不能综合说明你做的纳米台阶高度。

AFM扫的是一个面，但是范围不大。那就要看你台阶的分布，或者你样品基底的平整度，否则纳米级别的台阶高度是测不准的。

光学轮廓仪也可以测纳米级的台阶高度，但是需要考虑膜和基底的N，K系数的差异性。但是，它的好处是测试范围相对大，测试速度快。

若有兴趣，可深入探讨！
赞一下 回复此楼
11楼2016-11-17 14:00:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Thomas3935

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 未成曲_调721 at 2016-11-10 11:29:45
我来回答楼上问题吧。计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成；针对计量型原子力显微测量系统，采用三维激光干涉测量系统作为测量基准，以实现原子 ...

这是杀鸡用牛刀啊！

这种显微镜一般都是放在恒温恒湿极低气流环境里的。
赞一下 回复此楼
12楼2016-11-17 14:03:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Thomas3935

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by 王倩113251 at 2016-11-10 10:49:54
楼主说的误差大事因为测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降。

呵呵，一般都是12.5微米的人工钻石做stylus的针尖。

大部分情况是Stylus的顶部被杂质（例如光刻胶等）污染。
赞一下 回复此楼
13楼2016-11-17 14:08:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ashley_lj 的主题更新
132/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 12:25 by n0P4fnsXKbBK
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 12:20 by n0P4fnsXKbBK
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 YXM1FDCSE8Bn 2026-11-01 6/300 2026-11-02 09:57 by dcc2yOIRGGTT
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 09:31 by dcc2yOIRGGTT
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 7/350 2026-11-02 09:29 by dcc2yOIRGGTT
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 7/350 2026-11-02 09:29 by dcc2yOIRGGTT
[基金申请] 各位基础老师们，看完中央《从严治党》的决定后，对学术界更加有信心了吧 +3 iaeyuan 2026-11-01 3/150 2026-11-02 07:49 by kudofaye
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 7/350 2026-11-02 06:29 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 06:20 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 8/400 2026-11-02 06:13 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 9/450 2026-11-02 06:13 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 5/250 2026-11-02 06:07 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 17/850 2026-11-02 05:34 by xzcv0Tehd8lQ
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-01 22:24 by xzcv0Tehd8lQ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 11/550 2026-11-01 21:35 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-01 20:03 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 13/650 2026-11-01 16:48 by BCdvBAEpt3zm
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 22/1100 2026-11-01 16:35 by BCdvBAEpt3zm
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 18/900 2026-11-01 12:11 by BCdvBAEpt3zm
[硕博家园] 申博自荐 2篇一区TOP+1篇EI+2公开发明专利 2027博士申请 +3 小小阿光 2026-10-27 3/150 2026-10-29 23:56 by 起风了的快乐
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭