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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射条件下在铝箔上面镀覆金属，想测试其膜厚度
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weq_ever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1、直接把铝箔撕断或剪断，用SEM看截面；
2、如果低温镀膜的话，可以在镀膜前用耐高温的记号笔在铝箔上画一道，镀完后很容易用酒精擦掉，然后用台阶仪测厚度
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11楼2016-09-26 09:37:04
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zhzhangzh

木虫 (著名写手)
有没有膜厚监控这个程序，虽然不是很准，但是也还行，或者做个对比，用电镜再确定下

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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加油
12楼2016-09-26 10:50:31
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
白光干涉仪不行吗

发自小木虫Android客户端
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13楼2016-09-26 10:55:13
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hyha

新虫 (正式写手)
我也是镀膜的

发自小木虫Android客户端
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14楼2016-09-26 11:35:01
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fengzikun

银虫 (小有名气)
既然要用铝箔，那就是用称重法测量，保证铝箔上的一定范围内所沉积的薄膜是均匀的，然后测量它前后的重量，用块体密度法测膜厚。若是用SEM，或者台阶仪测膜厚，何苦要用铝箔呢，用Si 或者SiO2基片不更好。
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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索！
15楼2016-09-26 18:06:13
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喵喵是只猫

新虫 (初入文坛)
内容已删除
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16楼2016-09-26 19:12:06
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匿名

用户注销 (小有名气)
本帖仅楼主可见
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17楼2016-09-26 20:31:25
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慕林杉灬

无虫 (小有名气)
我们这边薄膜厚度都是压痕仪测的。

发自小木虫Android客户端
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18楼2016-09-26 20:54:13
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ahuman

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 蔡蔡不是菜 at 2016-09-25 09:18:38
但是要自己做树脂包埋     树脂包埋还不知道有什么用？想请教一下...

树脂包埋是为了保证你的样品断面不会在打磨抛光过程中变形而影响测量值。
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19楼2016-09-26 23:18:06
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ahuman

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知到你要镀膜多长时间，如果对误差要求不高，最简单的办法就是使用千分尺直接测量，测量误差千分之一。
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20楼2016-09-26 23:19:53
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