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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

[求助] 有没有大神利用等离子磁控溅射仪镀过钨靶的??进来交流一下~ 已有2人参与

有没有大神利用溅射仪镀过钨靶材的呀?这几天在硅片上镀钨,发现镀完之后基片呈现那种暗色的金属色泽,不知道是不是钨?还是已经被氧化了,如果正常未被氧化的钨薄膜是什么颜色的呢?是银白色么??
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东东那个东

金虫 (正式写手)

好好干,等你好消息
头疼
2楼2016-09-13 15:54:19
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的真空度是多少,理论上讲只要你不通氧进去,就不会被氧化的
3楼2016-09-14 08:00:58
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mrwu888

金虫 (小有名气)

正常,做过,颜色对,没氧化!

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大智若愚宠辱不惊是为高,大爱于心福泽天下是为富,大略宏才智勇双全是为帅!
4楼2016-09-14 08:34:18
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by mrwu888 at 2016-09-14 08:34:18
正常,做过,颜色对,没氧化!

确定么?你的镀膜厚度是多少啊?呈现什么颜色?还有那个膜不是银白色么?你的真空度是多少呀在镀膜的时候?

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5楼2016-09-14 10:09:20
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-14 08:00:58
你的真空度是多少,理论上讲只要你不通氧进去,就不会被氧化的

我未通Ar气之前真空度是3mTorr,大概0.4Pa,然后通氩气到30mTorr进行的溅射,正常起辉,溅射电流是40mA

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6楼2016-09-14 10:12:08
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-14 10:12:08
我未通Ar气之前真空度是3mTorr,大概0.4Pa,然后通氩气到30mTorr进行的溅射,正常起辉,溅射电流是40mA
...

氩气的纯度是几个9的
7楼2016-09-18 07:57:59
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纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅

【答案】应助回帖

两种可能  磁控溅射时的保护气体  有可能含有少量氧气    导致样品氧化   再一个就是你的薄膜做的太厚了   不同厚度会显示不同颜色
进取……永无止境!
8楼2016-09-18 08:24:15
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 纳米材料753 at 2016-09-18 08:24:15
两种可能  磁控溅射时的保护气体  有可能含有少量氧气    导致样品氧化   再一个就是你的薄膜做的太厚了   不同厚度会显示不同颜色

厚度比较厚不是会显示本来的金属颜色,银白色么?大概的颜色跟厚度是什么关系呢?

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9楼2016-09-18 19:28:34
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-18 07:57:59
氩气的纯度是几个9的...

4个9的高纯氩气

发自小木虫IOS客户端
10楼2016-09-19 08:02:30
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