24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2227  |  回复: 9

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

[求助] 有没有大神利用等离子磁控溅射仪镀过钨靶的??进来交流一下~ 已有2人参与

有没有大神利用溅射仪镀过钨靶材的呀?这几天在硅片上镀钨,发现镀完之后基片呈现那种暗色的金属色泽,不知道是不是钨?还是已经被氧化了,如果正常未被氧化的钨薄膜是什么颜色的呢?是银白色么??
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)

好好干,等你好消息
头疼
2楼2016-09-13 15:54:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的真空度是多少,理论上讲只要你不通氧进去,就不会被氧化的
3楼2016-09-14 08:00:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mrwu888

金虫 (小有名气)

正常,做过,颜色对,没氧化!

发自小木虫Android客户端
大智若愚宠辱不惊是为高,大爱于心福泽天下是为富,大略宏才智勇双全是为帅!
4楼2016-09-14 08:34:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by mrwu888 at 2016-09-14 08:34:18
正常,做过,颜色对,没氧化!

确定么?你的镀膜厚度是多少啊?呈现什么颜色?还有那个膜不是银白色么?你的真空度是多少呀在镀膜的时候?

发自小木虫IOS客户端
5楼2016-09-14 10:09:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-14 08:00:58
你的真空度是多少,理论上讲只要你不通氧进去,就不会被氧化的

我未通Ar气之前真空度是3mTorr,大概0.4Pa,然后通氩气到30mTorr进行的溅射,正常起辉,溅射电流是40mA

发自小木虫IOS客户端
6楼2016-09-14 10:12:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-14 10:12:08
我未通Ar气之前真空度是3mTorr,大概0.4Pa,然后通氩气到30mTorr进行的溅射,正常起辉,溅射电流是40mA
...

氩气的纯度是几个9的
7楼2016-09-18 07:57:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

纳米材料753

木虫之王 (文学泰斗)

光岳之巅

【答案】应助回帖

两种可能  磁控溅射时的保护气体  有可能含有少量氧气    导致样品氧化   再一个就是你的薄膜做的太厚了   不同厚度会显示不同颜色
进取……永无止境!
8楼2016-09-18 08:24:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 纳米材料753 at 2016-09-18 08:24:15
两种可能  磁控溅射时的保护气体  有可能含有少量氧气    导致样品氧化   再一个就是你的薄膜做的太厚了   不同厚度会显示不同颜色

厚度比较厚不是会显示本来的金属颜色,银白色么?大概的颜色跟厚度是什么关系呢?

发自小木虫IOS客户端
9楼2016-09-18 19:28:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-09-18 07:57:59
氩气的纯度是几个9的...

4个9的高纯氩气

发自小木虫IOS客户端
10楼2016-09-19 08:02:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 脸红喽lhl 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0854求调剂 +9 门路摸摸 2026-04-15 9/450 2026-04-15 19:54 by 学员JpLReM
[考研] 291求调剂 +7 关忆北. 2026-04-14 7/350 2026-04-15 14:39 by 黑科技花岗岩
[考研] 085801电气专硕272求调剂 +19 电气李 2026-04-13 21/1050 2026-04-15 13:37 by 黑科技矿业
[考研] 08工学 309分求调剂 +12 Yin DY 2026-04-08 12/600 2026-04-14 17:49 by lhj2009
[考研] 本科211,报考085601-310分 +16 ararak 2026-04-13 16/800 2026-04-14 14:55 by Delta2012
[考研] 314求调剂 +24 wakeluofu 2026-04-09 25/1250 2026-04-13 08:58 by lhj2009
[找工作] 山东高校教师考核超级无底线,员工过不下去啦 +4 qut2026 2026-04-09 9/450 2026-04-12 00:54 by qut2026
[考研] 267求调剂 +8 再忙也要吃饭啊 2026-04-09 8/400 2026-04-11 21:42 by cfdbai
[考研] 电子信息279求调剂,有书读就行 +8 wwwooden 2026-04-08 11/550 2026-04-11 20:22 by cq2548
[考研] 085400 328分 求调剂 +10 喂你一个大橙子 2026-04-09 14/700 2026-04-11 19:53 by lqspecial
[考研] 工科273调剂 +6 X1999 2026-04-09 7/350 2026-04-11 10:23 by zhq0425
[考研] 一志愿985机械学硕380求调剂 +5 关关雎鸠10 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:10 by 知念。A
[考研] 22408 352分求调剂0854类 +4 努力的夏末 2026-04-09 4/200 2026-04-11 09:57 by zhq0425
[考研] 化学工程与技术324调剂 +23 孙常华 2026-04-09 25/1250 2026-04-11 00:07 by 骑牛渡寒江
[考研] 289 分105500药学专硕求调剂(找B区学校) +6 白云123456789 2026-04-09 8/400 2026-04-10 21:13 by zhouxiaoyu
[考研] 中科院总分315求调剂 +8 lallalh 2026-04-09 8/400 2026-04-10 19:30 by dick_runner
[考研] 0858求调剂 5+5 Gky09300550, 2026-04-10 8/400 2026-04-10 19:13 by chemisry
[考研] 一志愿沪9,326生物学求相关专业调剂 +4 刘墨墨 2026-04-09 4/200 2026-04-10 12:07 by pengliang8036
[考研] 一志愿华东师范生物学326分,求调剂 +8 刘墨墨 2026-04-09 8/400 2026-04-10 12:00 by pengliang8036
[考研] 337求调剂 +4 Gky09300550, 2026-04-09 4/200 2026-04-09 17:18 by 帕尔马拉特
信息提示
请填处理意见