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1329142627铁虫 (初入文坛)
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硅电池钝化问题：ALD氧化铝后做PECVD的氮化硅如何去除表面气泡
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有人做过类似的背面钝化吗，是不是存在气泡？ALD后试过600C烧结还会存在气泡，退火的话时间比较长会对前场造成很大影响...... 有硅电池方向的可以起来讨论下啊 |
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