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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » ITO和ZnO薄膜的方阻问题
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by minglight9 at 2016-08-01 08:07:16
激光沉积的方式有点难做，没做过，一般都是磁控溅射的比较多，氧含量是指氩氧比。
...

恩，好的，谢谢
那你们的Ar气在里面主要是起到轰击靶材的作用还是有其他的特殊作用呢
磁控溅射我不是很熟悉

还有一个，就是磁控溅射的时候基片需要旋转么？
非常感谢
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11楼2016-08-01 11:09:57
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Ar气是起到轰击靶材的动力工作载气。

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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
12楼2016-08-01 11:31:42
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
引用回帖:
11楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-08-01 11:09:57
恩，好的，谢谢
那你们的Ar气在里面主要是起到轰击靶材的作用还是有其他的特殊作用呢
磁控溅射我不是很熟悉

还有一个，就是磁控溅射的时候基片需要旋转么？
非常感谢...

要想镀膜均匀就必须旋转或者来回运动。

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kevin123581
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
13楼2016-08-01 11:32:28
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kevin123581

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
13楼: Originally posted by minglight9 at 2016-08-01 11:32:28
要想镀膜均匀就必须旋转或者来回运动。
...

好的，谢谢。因为激光沉积不用气体分子去轰击靶材，直接激光就可以了，所以我想确认下Ar有没有其他的功能性作用。如果这样看来的话，有没有氩气应该影响不会太大才是。

是的，为了均匀镀膜我也是旋转的，但是这样子的薄膜貌似基本都是非定型的晶体结构。


谢谢你的解答，帮助很多 ：）
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14楼2016-08-01 12:26:37
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tjabhm
15楼2016-08-05 16:33:22
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匿名
本帖仅楼主可见
16楼2016-09-01 00:55:52
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镀膜阿坤

新虫 (初入文坛)
★
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磁孔溅射使用ITO靶和SI靶做透明导电膜，穿透率能在85%以上

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17楼2017-02-18 18:50:26
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dengdenger

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3楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-26 12:15:17
恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢...

我用旋涂方法制备的薄膜，方块电阻很大，居然有10的7次方。是我的薄膜太厚吗？1.5微米左右。还是我应该在通氩气下，去退火呢？

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18楼2017-06-23 07:36:30
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dengdenger

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7楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-29 14:37:59
恩，谢谢，确实氧气问题很大。
今天测量了下不通氧气的，方阻在150左右，虽然也还算大，但是远比20k的小多了；
不过不通氧气的话薄膜基本是黑色的就是了，透射10%的样子...

不通氧气，电阻减小？那是不是要在保护气氛下退火呢？

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19楼2017-06-23 16:56:57
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dengdenger

新虫 (小有名气)
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6楼: Originally posted by minglight9 at 2016-07-29 10:07:57
氧多了。

所以我们要隔绝氧气热处理吗？我是用的溶胶凝胶方法

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20楼2017-06-23 17:01:57
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