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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » ITO和ZnO薄膜的方阻问题
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] ITO和ZnO薄膜的方阻问题

最近自己尝试了ITO和ZnO的PLD 镀膜
ITO 透射能够达到80-85%以上， ZnO90%以上
但是方阻问题貌似比较大
ITO薄膜100nm左右测量出来方阻都在20千欧左右，
看别人论文上都是只有100左右的样子
我镀膜条件是500摄氏度， 只通氧气100sccm
是氧气过多造成的么？
氧化锌貌似方阻也差不多的样子，也是很高


谢谢
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1楼 2016-07-25 11:40:33
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 再见理想35 at 2016-07-28 08:22:45
能做的85%，就不错了...

恩，谢谢。请教个问题，我看很多镀膜的时候都有通入Ar和O2，Ar的作用是什么呢，是为了让等离子羽辉发散角变大便于均匀镀膜还是有其他的功能考虑？
我因为设备原因是没有Ar的。

谢谢
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5楼2016-07-28 13:27:00
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xiangyunone

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了
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2楼2016-07-26 11:08:33
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangyunone at 2016-07-26 11:08:33
通氧气应该会降低薄膜的方块电阻吧  我做过AZO中通氧气 方块电阻比不通氧气时高很多。可能是因为氧空位少了

恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢
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dengdenger
3楼2016-07-26 12:15:17
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再见理想35

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2016-07-26 12:15:17
恩，我也这么猜想。但是不通氧薄膜的透射很低就是了，谢谢...

能做的85%，就不错了
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4楼2016-07-28 08:22:45
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