| 查看: 6841 | 回复: 1 | |||||
[交流]
光刻曝光过程中，曝光时间长短对结果有什么影响 已有1人参与
|
| 在光刻过程中，曝光时间过长和曝光时间过短，对曝光的结果有何影响。曝光完毕，显影过净是什么意思？这些参数应该如何获取 |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有99人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
敲字太累。我们最近会出一些简单的资料，介绍一下原理性问题。你可以发个联系方式给我，等资料做好了，我先通知你。 你也可以发邮件给tech@rdmicro.com，然后把具体遇到的问题写进去，像这样开放性的问题，很难用短篇幅来解答，而且最好是进行系统性学习。 先简单和你说一下，曝光过长的后果由很多：比如光刻胶轮廓变差，气泡，无法显影，光刻胶改性等等。过短，无法曝透光刻胶，显影显不出，或者显影不干净，负胶的话，图形不完整，轮廓差等等。过显，指的是显影超出标准时间，一般表现是轮廓变差，掉胶，厚度变薄等等。 |
2楼2016-07-22 12:26:13
