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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 功能高分子 » UV可以直接分解PDMS，现在有用UV直接刻蚀PDMS的吗
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miaochunyue

新虫 (小有名气)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by HITrobot9 at 2016-06-23 17:04:01
按道理uv只能分解一点点pdms，并不能深刻蚀。但一篇lab on chip说，配了一种溶液，泡在里面，可以有效的带走分解物质，可以刻蚀几百微米
...

你给的那篇文献里最深可以刻蚀10微米呀
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岁月静好，春暖花开
11楼2018-09-06 19:34:08
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bionics

专家顾问 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by miaochunyue at 2018-09-06 14:09:02
我和题主有一样 的问题，看了你的回复专门去看了夏飞的毕业论文，说得不是同一回事呀。夏飞的论文是利用紫外照射降低PDMS的疏水性（或者说增强亲水性），再与玻璃键发生合，这种方法适用于实验室不具备等离子体清洗 ...

原理是一样的，只是PDMS刻蚀需要更高能量的电子束而已作为正性胶，负性胶，PDMS均有研究。

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知者必量其力所能至而从焉
12楼2018-09-06 23:15:06
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