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ielwang

金虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 木石之缘 at 2016-05-11 09:01:17
PECVD,四氟化硅

谢谢啊,不过,我们实验室设备简陋,没有这个设备,这个方法行不通。
11楼2016-05-11 09:17:46
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by 木石之缘 at 2016-05-11 09:01:17
PECVD,四氟化硅

PECVD 应该用 SiH4 silane 硅烷 较可行吧?
12楼2016-05-11 10:40:08
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

重复,恕删~
13楼2016-05-11 10:40:20
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
作过溅镀,没作过蒸镀。温度是个问题。
溅镀可以用 SiO2靶,也可以用纯 Si靶通氧气。

如果只是要作保护层,喷涂后干燥也是个可能方法。
14楼2016-05-11 10:43:16
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ielwang

金虫 (正式写手)

引用回帖:
14楼: Originally posted by jedi-j at 2016-05-11 10:43:16
作过溅镀,没作过蒸镀。温度是个问题。
溅镀可以用 SiO2靶,也可以用纯 Si靶通氧气。

如果只是要作保护层,喷涂后干燥也是个可能方法。

对,就是想做保护层,不知道看文献的有机硅氧烷高温蒸镀可行么。
15楼2016-05-11 11:09:54
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