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calls12

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 3675419
注册: 2015-02-03
性别: GG
专业: 无机非金属类电介质与电解

[求助] 没有匀胶机和旋涂机的情况下，怎样使溶液在玻璃表面均匀摊开？已有2人参与

现在是用PVA溶液改性玻璃基片，实验室条件有限，没有匀胶机和旋涂机，怎么样能让PVA溶液比较均匀的涂敷在玻璃基片上？

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1楼2016-04-26 17:33:39

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victoryn

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 142
帖子: 30
在线: 8.8小时
虫号: 4263941
注册: 2015-12-03
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

楼主可以使用软毛刷刷涂、刀片刮涂。当然也可以百十块钱买一台电机，配合承片台（用以真空吸附衬底），固定好后边旋转边使用吸管滴上去定量溶剂，以实现理想的薄膜厚度和均匀性。
光刻胶涂布机又称为匀胶机，原理就是通过主轴旋转产生离心力，配合工艺优化，最后实现薄膜厚度和均匀性控制。
光刻胶涂布机有台式和落地式（手动和自动），按照功能又分为手动滴胶和自动滴胶，手动取放片和自动取放片（机械手）。价位差距较大，可根据工艺要求和预算选择。
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西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立，公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来，已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布机（匀胶机）、显影机和热板、HMDS预处理系统、氮气烘干机、金刚刀划片机、晶圆贴膜机等，可按客户工艺要求进行客制化订做。
http://www.semiway.com.cn

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