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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 如何监测sio2-SiC界面情况?
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1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] 如何监测sio2-SiC界面情况?

RT，楼主用SiO2做的钝化膜，材料是SiC，正斜角台面终端，做完钝化膜之后用SEM观察台面有SiO2但是击穿电压测试后样片特性损坏也就是无耐压，老板说SiC击穿测试后样片电特性应该还是好的，楼主现在不清楚是哪里出的原因?不知道是测坏了还是工艺本身问题?所以想从SiC与SiO2的接触界面的情况着手分析，但是不知道该用何种方法何种设备去监测接触界面的情况。希望有相关经验的人士可以指导一下，万分感谢

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1楼 2016-04-05 00:05:10
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ligq410

新虫 (小有名气)
化学可以测定吗？

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2楼2018-02-08 14:06:04
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